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Edwards愛德華VIV真空快速隔斷閥

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Edwards愛德華VIV真空快速隔斷閥

應用方向

在分子泵和/或工藝腔體gpg防止蒸汽或氣體回流的情況下使用

當前級泵停止或被停止時,VIV保護工藝腔體不被破空

典型可推薦用VIV的泵為:nXDS、XDS、nXLi和nXRi等干式前級泵

單相交流電源和24伏直流電壓可選,可適用于大多數應用

功能

VIV真空隔離閥是一個高流導(11–126 l/s)、快速動作(<0.1 s)的高真空隔離閥,它能

在前級泵因電源故障而立即停止或故意停止時快速動作隔離上游管路

當VIV關閉時,前級泵可以破空

當前級泵重新啟動時,當VIV內的壓力下降(<200mbar)時,閥門將緩慢(<15s)打開,

從而將任何壓力突然變化的影響降至Z低

使用VIV Link可與nXDS,nXLi,nXRi進行連鎖,保護系統


可選配置

VIV閥,電壓選項:單相 110V/220V 和24V d.c.

單相供電的VIV閥的電源應與泵并聯,只有在停電使泵停止時才會閉合。斷電后,隨著壓力下降,閥門打開

注意! – 當使用單相電供電的VIV閥, 閥的電壓必須和主電源相匹配

對于更好的保護真空系統, 24V d.c. 的型號推薦使用


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愛德華Edwards VIV真空快速隔斷閥產品手冊(中文).pdf

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